TFT—LCD是采用新材料和新工藝的大規模半導體全集成電路制造技術,是液晶(LC)、無機和有機薄膜電致發光(EL和OEL)平板顯示器的基礎。
TFT是在玻璃或塑料基板等非單晶片上(當然也可以在晶片上)通過濺射、化學沉積工藝形成制造電路必需的各種膜,通過對膜的加工制作大規模半導體集成電路(LSIC)。
采用非單晶基板可以大幅度地降低成本,是傳統大規模集成電路向大面積、多功能、低成本方向的延伸。在大面積玻璃或塑料基板上制造控制像元(LC或OLED)開關性能的TFT比在硅片上制造大規模IC的技術難度更大。
對生產環境的要求(凈化度為100級),對原材料純度的要求(電子特氣的純度為99.999985%),對生產設備和生產技術的要求都超過半導體大規模集成,是現代大生產的頂尖技術。