列直線模組使用高性能(Parker、Yaskawa、Mitsubishi)等直線電機,集成了傳感器,高性能光柵或磁柵編碼器可直接實現直線運動的成套產品,方便使用。其低摩擦使用壽命長,高性能的直線位移傳感器確保行走路徑精確、重復性能優越。
直線模組目前致力于發展:超高速、高精度、長行程直線模組(單軸、雙軸、大理石、龍門單雙驅等)直線模組、線性模組、直線導軌滑臺模組的非標定制,可根據用戶需求定制各種行程及特殊要求的線性模組、直線電機模組,如需技術支持或詢價請聯系直線模組技術工程師。
FMCH/LU/R高精高速單軸直線電機模組
有效行程:Max1000mm
光柵分辨率:5um-10nm
重復定位精度:H±1um、L±50nm
運行速度:1m/s-5m/s
加速度:2G-5G
應用行業:電子、半導體、激光、檢測
FMCLH/LU/R高速高精單軸直線電機模組
FML系列H/LU/R單軸直線模組
有效行程:Max1000mm
光柵分辨率:5um-10nm
重復定位精度:H±0.5um、L±10nm
運行速度:1m/s-5m/s
加速度:2G-5G
FMSH/LU高速高精單軸直線電機模組
有效行程:Max1000mm
光柵分辨率:5um-10nm
重復定位精度:H±0.5um、L±10nm
運行速度:1m/s-5m/s
加速度:2G-5G
應用行業:電子、半導體、激光、檢測
XY軸系列直線電機模組
有效行程:300*180mm
光柵分辨率:1um
重復定位精度:±3um
X-Y行走平行度:±3um
運行速度:800mm/s
加速度:15m/s2
應用行業:電子、半導體行業
Z軸系列直線電機模組
Z軸需要選擇合適的恒力氣彈簧來配平
有效行程:150mm
光柵分辨率:1um
重復定位精度:±3um
運行速度:800mm/s
加速度:500mm/s2
應用行業:電子、半導體行
大理石系列直線電機模組
有效行程:400*200*100
光柵分辨率:1um
重復定位精度:±2um
運行速度:1000mm/s
加速度:20m/s2
三軸正交垂直度:±5um
應用行業:激光行業、汽車行業
龍門系列直線電機模組
有效行程:300*180
光柵分辨率:1um
重復定位精度:±5um
運行速度:1000mm/s
加速度:20m/s2
應用行業:電子行業工件裝配機械手